1794-TB32S
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2.?程序模擬調(diào)試

程序模擬調(diào)試的基本思想是，以方便的形式模擬產(chǎn)生現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際狀態(tài)，為程序的運(yùn)行創(chuàng)造必要的環(huán)境條件。根據(jù)產(chǎn)生現(xiàn)場(chǎng)信號(hào)的方式不同，模擬調(diào)試有硬件模擬法和軟件模擬法兩種形式。

1）硬件模擬法是使用一些硬件設(shè)備（如用另一臺(tái)PLC或一些輸入器件等）模擬產(chǎn)生現(xiàn)場(chǎng)的信號(hào)，并將這些信號(hào)以硬接線的方式連到PLC系統(tǒng)的輸入端，其時(shí)效性較強(qiáng)。

2）軟件模擬法是在PLC中另外編寫(xiě)一套模擬程序，模擬提供現(xiàn)場(chǎng)信號(hào)，其簡(jiǎn)單易行，但時(shí)效性不易保證。模擬調(diào)試過(guò)程中，可采用分段調(diào)試的方法，并利用編程器的監(jiān)控功能。

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CHEMRAZ AS-568A-382 , 9382-SC657, O-RING

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Tylan AC-2S06, AC-2 Valve Controller

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MKS Manometer Gauge, 223B-11117 , 1 Torr, Novellus

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19-00267-01 MOTOR,CX57-51, ROT, MOD-HIFLEX , NOVELLUS PARTS

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VAT 14040-PE14-0006?/0032 Vacuum Gate VALVE / Working Condition

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19-00266-01 STEPPER MOTOR,CONCEPT ONE PARTS, NOVELLUS PARTS

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VAT 0200X-AE24-1002 Transfer Vacuum VALVE / Working Condition

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Ebara Control Panel, VPA-A1N, Vaccum Pump Interface Box

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LFC PORTER / P2000 SERIES / P2000-C001 / 5.0 ML / MIN / TEOS

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LFC PORTER / P2000i-C010 / 10.0 ML / MIN / TEOS