產(chǎn)品品牌：萬濠

產(chǎn)品型號：SWIM1510MS白光干涉儀

類型：白光干涉儀

類型	白光干涉儀	品種	其他干涉儀
測量范圍	150mm 100mm	測量分辨率	0.1nm
最近工作距離	80mm（mm）	用途	結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀，不需要復(fù)雜的光路調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度

白光干涉儀白光干涉儀的檢測應(yīng)用結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀，不需要復(fù)雜的光路調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400 m之微三維量測，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含： 晶圓（Wafer） 光盤/硬盤（DVD Disk/Haed Disk） 微機(jī)電組件（MEMS Components） 平面液晶顯示器（LCD） 高密度線路印刷電路板（HDI PCB） IC封裝（IC Package） 以及其他材料分析與組件微表面研究高速精密的干涉條紋解析軟件（ImgScan） 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋。 垂直高度分辨率可達(dá)0.1nm。 高速的分析算法則，讓您不在苦候量測結(jié)果。 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易。 10 ，20 與50 倍率的物鏡可供選擇。 平臺X、Y、Z位置數(shù)顯式顯示，使檢測標(biāo)的尋找快速又便利。 具有手動/自動光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對比。 具有高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供7選擇。 具有專利的解析算法則，可處理半透明物體的3D形貌。 具有自動補(bǔ)點(diǎn)功能。 可自行設(shè)定掃描方向。專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo） 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析。 提供自動表面平整化處理功能。 提供階高標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能。 深度/高度分析功能，提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式。 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（roughness）與起伏度（waviness）的量測分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)。 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析。具有平滑化、銳化與數(shù)字濾波等多種二維快速傅利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能。 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出。機(jī)臺規(guī)格：型號SWIM1510MS系統(tǒng)配備顯微鏡、掃描控制器、移動平臺、取像單元、個人計(jì)算機(jī)顯微鏡單眼顯微鏡（標(biāo)準(zhǔn)配件）干涉物鏡（選配）放大率視野（mm）光學(xué)分辨率（ m）10 0.51.1220 0.250.8450 0.10.61影像縮放1.0 （標(biāo)準(zhǔn)）0.5 （選配）垂直掃描控制器掃描范圍100 m（400 m，選配）掃描分辨率0.1nm掃描模式自動光強(qiáng)度調(diào)整自動/手動掃描速度12 m/s（最快）樣品移動平臺X-Y平面移動平臺150mm 100mm，手動（標(biāo)準(zhǔn)配件）Z軸移動平臺80mm，手動（標(biāo)準(zhǔn)配件）位置數(shù)字顯示單元三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)字顯示器（分辨率1 m）偏移調(diào)整工作臺手動取像單元影像傳感器面型CCD（標(biāo)準(zhǔn)配置）傳感器分辨率640 480像素（標(biāo)準(zhǔn)配件）計(jì)算機(jī)配備Pentium-computer，17 LCD Monitor，120GB以上硬盤機(jī)分析軟件MS-Windows兼容的數(shù)據(jù)攫取與分析軟件，包含ISO粗糙度/階高分析，快速傅利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圖，外形分析，圖像縮放，標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換等等。階高標(biāo)準(zhǔn)片（選配）50nm、170nm、230nm、470nm、1800nm