產(chǎn)品簡介：FS1015系列微機電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類醫(yī)學用氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計。產(chǎn)品特點：專為呼吸機和麻醉機的流量計量需求而設(shè)計高靈敏度，應用熱式質(zhì)量流量計原理可測量最低至8mm/sec的流體流量無旁通結(jié)構(gòu)，低壓損傳感器的零點穩(wěn)定度高經(jīng)消毒液殺菌處理后可重復使用自動轉(zhuǎn)換量程的開關(guān)設(shè)計提高了測量精度主機設(shè)備上的用戶界面可輕松實現(xiàn)線性輸出技術(shù)參數(shù)：產(chǎn)品FS1015CL單位流量范圍0~150SLPM精度 (1.5 0.1FS)%重復性 0.75%響應時間10（Max.）msec工作電壓5 1%Vdc輸出方式線性，模擬電壓0.5~4.5Vdc最大壓損500Pa最大工作壓力0.2MPa工作溫度-10~55oC儲存溫度-20~65oC工作濕度 95(無結(jié)冰、無凝露)%RH