智能差壓變送器世界首創(chuàng) 單晶硅諧振傳感器，高精度：0.075%，連續(xù)工作五年不需調(diào)校，溫度影響可忽略不計，靜壓影響可忽略不計，單向過壓影晌：連續(xù)10萬次單向過壓實驗后影晌量 0.03%，雙向通訊功能（BRAIN/HART協(xié)議，F(xiàn)F現(xiàn)場總線），完善的自診斷功能，基本品接液膜片材質(zhì)：哈氏合金C-276小型、輕量，標準型3.9kg，工作原理 采用微電子加工技術（MEMS）在一個單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩（如圖1）。單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時，將產(chǎn)生形變，導致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。