F.S.流量 N2換算10SCCM-20SLM(8300) 30SLM-100SLM(8350) 傳感器方式熱式質(zhì)量流量控制器 閥執(zhí)行機(jī)構(gòu)電磁常閉 閥方式提升閥 控制控制范圍2%-100%F.S應(yīng)答性設(shè)定 2%F.S.至1秒以內(nèi)（標(biāo)準(zhǔn)）精 度 1.5%F.S.以內(nèi)( 2%F.S. 8350)再現(xiàn)性 0.2%F.S.以內(nèi)( 1.5%F.S. 8350)壓力耐 壓 0.98Mpa動作差壓49Kpa-294Kpa低差壓選購件2-149KPa溫度使用溫度 0℃-50℃精度保證溫度15℃-35℃濕度容許動作濕度10%-90%（無結(jié)露） 報警事件輸出數(shù) 報警輸出：1事件輸出：1（開路集電極輸出Max35V:50mA）分辨能力最高分辨能力1mV（1digit）通信通信形式RS232C（多項）/RS485：通信速度9600bps電源所需電源DC+15（ 5%）100mA,DC-15( 5%)200mA 連接氣體部分材料SUS316L，SUS316，PTFE，氟橡膠，氯丁橡膠（選購）接 頭 9/16-18UNF，1/4Rc，1/4SSWLTM，1/4VCRTM安裝姿態(tài)無指定重量普通：1000g特規(guī)：（900g）顯示方 法7節(jié)LED4位數(shù)字 整體展示：0000-9999準(zhǔn)確性 0.1%