四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀 型號:KDK-KDY-1 四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān),在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的專利產(chǎn)品: 小游移四探針頭 ,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本機如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。2、主機技術(shù)能數(shù)(1)測量范圍:可測電阻率:0.0001~19000 cm可測方塊電阻:0.001~1900 □(2)恒流源:輸出電流:DC0.001~100mA五檔連續(xù)可調(diào)量程:0.001~0.01mA0.01~0.10mA0.10~1.0mA1.0~10mA10~100mA恒流精度:各檔均低于 0.05%(3)直流數(shù)字電壓表:測量范圍:0~199.99mV靈敏度:10 V基本誤差: (0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)輸出電源: 1000 M(4)供電電源:AC220V 10%50/60Hz功率:12W(5)使用環(huán)境:溫度:23 2℃相對濕度: 65%無較強的電場干擾,無強光直接照射(6)重量、體積:主機重量:7.5kg體積:365 380 160(單位:mm長度 寬度 高度)備注:等級測量時(測電阻率),精度 3%電氣測量時(測電阻),精度在0.3%以內(nèi)備注:儀器包括:主機一臺;測試架(包括臺面)一個;四探針頭4個;四探針20根網(wǎng)址:www.51658042.com