波長(zhǎng)172nmの真空紫外光＝エキシマ光の測(cè)定に適した専用受光素子としてダイヤモンド薄膜センサを採(cǎi)用しています?！籼亍? 172nmエキシマUVランプの照度管理用照度計(jì)です。? 波長(zhǎng)172nmのエキシマ発光における照度と光量を切り替えて測(cè)定できます。? NIST標(biāo)準(zhǔn)に基づく校正で絶対値での管理が可能です。? 測(cè)定データはRS-232Cによる通信出力を介して転送できます。◆仕　様受光器（交換式）UV-SD172H-M06（校正波長(zhǎng)172nm）測(cè)定照度範(fàn)囲0.001～300.0mw/cm2測(cè)定光量範(fàn)囲0.001～19999mJ/cm2合わせ込み精度當(dāng)社UV標(biāo)準(zhǔn)器に対して 5.0％以內(nèi)繰り返し精度 1.5％以內(nèi)◆UV計(jì)測(cè)器　受光器　分光感度特性