INFICON潘寧規(guī) 產(chǎn)品型號：PEG100 INFICONPEG100真空潘寧規(guī)提供了可靠的高真空測量。無高真空燈絲。由于等離子點火的鈦陰極板和高電壓降低，潘寧規(guī)也可以應用在陰極濺射鍍膜工藝上。特點：測量范圍廣：5X10-7～1Pa全金屬冷陰極陶瓷傳感器新型幾何電極提供了極好的點火性能降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易最小磁場強度測量LED指示燈電源和等離子點火對數(shù)模擬輸出信號Fieldbus總線接口（ProfibusDB,DeviceNet）,集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡通信