您的無(wú)塵室真的無(wú)塵嗎？這是光晟興業(yè)三年前推出第一代紫光微粒檢出機(jī)之後，對(duì)於提高客戶(hù)黃光製程良率的訴求。目前光晟除了推出新一代輕巧機(jī)型可供設(shè)備管道間之清潔管理外，另推出UVFree之表面檢查燈，可供工作物件清潔管理之用。光晟的紫光微粒檢出機(jī)係利用特殊的UV燈源，透過(guò)濾光片過(guò)濾產(chǎn)生出介於295nm到420nm波長(zhǎng)的紫外光。該波段針對(duì)任何可能具有螢光成分的塵屑(如PCB之纖維、樹(shù)酯 等)、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物，具有很好的辨識(shí)效果，作業(yè)員可輕易用眼睛辨視出來(lái)，並透過(guò)無(wú)塵布的擦拭而達(dá)到清潔之目的。由於業(yè)者常利用紫光微粒檢出機(jī)來(lái)檢查大型設(shè)備的落塵狀況，但是因?yàn)椴糠謾C(jī)臺(tái)內(nèi)部管道狹窄，人員不易進(jìn)出，故希望能縮小機(jī)臺(tái)的重量或是體積。有鑑於此，光晟日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機(jī)，可大幅提高使用之方便性。據(jù)了解，該新機(jī)型除沿用頗受好評(píng)鋰電模組，另提供座充及機(jī)臺(tái)直接充電兩種選擇。使用者不必?fù)?dān)心機(jī)臺(tái)使用到一半而電力耗盡，可迅速作備份鋰電模組之更換。除此之外，光晟全新推出之UVFree之表面檢查燈有別於紫光微粒檢出機(jī)，專(zhuān)門(mén)適用於如晶圓、玻璃光罩、LCDITO、DVD、光學(xué)玻璃等工作物件檢查。UVFree之表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺(jué)最舒服的波段，來(lái)做particle及刮傷的判別檢查。操作者長(zhǎng)時(shí)間操作對(duì)眼睛並不造成負(fù)擔(dān)，也不容易感到疲倦。光晟表示，由於客戶(hù)可分別利用紫光微粒檢出機(jī)及UVFree表面檢查燈做設(shè)備及工作物件清潔度管理，進(jìn)而提高製程良率。因此目前該公司的產(chǎn)品已獲得國(guó)內(nèi)各半導(dǎo)體、PCB、LCD及光電大廠廣泛採(cǎi)用。