OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。用于半導(dǎo)體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制，用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測量，測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸。 主要技術(shù)參數(shù)：測量對象惰性氣體中的氧氣濃度(易燃性氣體、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)測量系統(tǒng)氧化鋯系統(tǒng)采樣方法泵式、抽提式等樣氣條件流速：200 25ml/min(僅適用于傳感器)溫度：0～50℃(無結(jié)露)濕度：無結(jié)露壓力：0～300PaG最大容許壓力：30kPaG測量量程0～10ppm O2至0～100vol% O2輸出量程自動：0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默認(rèn))固定：設(shè)為0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%部分：可設(shè)置下限值或上限值模擬輸出2路輸出，第一路：4～20mA DC(最大負(fù)載電阻550 )，第二路：可選為0～1，0～5，0～10V DC(負(fù)載電阻：10k 或更大)接點輸出報警輸出2點：錯誤接點，O2濃度報警接點指定量程范圍輸出1點：接點輸出多選擇器(選配件)：流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出接點輸入1點：采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF自診斷故障：傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯誤，CPU錯誤，F(xiàn)AN停止報警：加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標(biāo)定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限串口通信RS-232，38400 bps標(biāo)定方法(1)3點：10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點：可設(shè)定為零點氣和量程氣標(biāo)定，(3)1點，(4)空氣標(biāo)定暖機時間20分以內(nèi)電源100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz功耗100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大尺寸213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm質(zhì)量約5kg管線連接氣體入口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋氣體出口：Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋環(huán)境條件安裝條件：室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域環(huán)境溫度：0～40℃，無結(jié)露環(huán)境濕度：5～85%RH儲存溫度：-5～50℃重復(fù)性 1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)線性 2%F.S. 3%F.S.(0～100ppm或更低)響應(yīng)時間90%響應(yīng)10秒內(nèi)(0～1%或更高)30秒內(nèi)(小于0～1%)漂移 2%F.S./周